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SJ6000運(yùn)動(dòng)導(dǎo)軌高精度激光干涉檢測(cè)儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。

中圖儀器GTS三坐標(biāo)激光跟蹤測(cè)量?jī)x具有測(cè)量范圍大、精度高、功能多、可現(xiàn)場(chǎng)測(cè)量等優(yōu)點(diǎn)，能夠解決大型、超大型工件和大型科學(xué)裝置、工業(yè)母機(jī)等全域高精度空間坐標(biāo)和空間姿態(tài)的測(cè)量問(wèn)題。

SJ6000工業(yè)精密激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。

GTS激光跟蹤空間坐標(biāo)測(cè)量?jī)x與光學(xué)回射靶球配合組成三自由度激光跟蹤儀，能對(duì)大尺度空間內(nèi)的點(diǎn)、線、面、曲面等幾何特征進(jìn)行精確測(cè)量；與空間姿態(tài)探頭配合組成六自由度激光跟蹤儀，能夠根據(jù)合作目標(biāo)的精確空間姿態(tài)對(duì)被測(cè)工件的內(nèi)部特征、隱藏特征或曲面等復(fù)雜特征進(jìn)行快速、高精度的測(cè)量。

SJ6000激光干涉儀精密測(cè)量及校準(zhǔn)系統(tǒng)可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件。實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

中圖儀器GTS激光自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)跟蹤測(cè)量?jī)x采用目標(biāo)球自動(dòng)鎖定技術(shù)，目標(biāo)鎖定相機(jī)在斷光時(shí)會(huì)在小范圍內(nèi)自動(dòng)搜索到目標(biāo)球，完成斷光續(xù)接，自動(dòng)鎖定目標(biāo)球，全過(guò)程不需人為操作，提高測(cè)量效率。

中圖儀器GTS目標(biāo)球自動(dòng)鎖定激光跟蹤測(cè)量?jī)x目標(biāo)鎖定相機(jī)在斷光時(shí)會(huì)在小范圍內(nèi)自動(dòng)搜索到目標(biāo)球，完成斷光續(xù)接，自動(dòng)鎖定目標(biāo)球，全過(guò)程不需人為操作，提高測(cè)量效率。

SJ6000激光干涉機(jī)床校準(zhǔn)補(bǔ)償儀是一種高精度測(cè)量設(shè)備，采用邁克爾遜干涉原理進(jìn)行線性測(cè)量，可以測(cè)量機(jī)床的線性定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙等。它通過(guò)高精度的環(huán)境補(bǔ)償模塊，能夠自動(dòng)補(bǔ)償激光波長(zhǎng)和材料特性，從而確保測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性。